?  真空環(huán)境：真空探針臺能夠在低真空或高真空環(huán)境中進(jìn)行測試、避免了空氣對實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響、提高了測試的準(zhǔn)確性和可靠性

?  溫控系統(tǒng)：配備有先進(jìn)的溫控系統(tǒng)、能夠?qū)崿F(xiàn)對樣品的精確控溫，滿足各種溫度條件下的測試需求。例如、真空超高溫1000度探針臺可以在高達(dá)1000度的高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作，適用于材料表面的物理和化學(xué)性質(zhì)研究

?  外部可移動(dòng)探針臂：采用外部可移動(dòng)探針臂設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)對樣品表面任意位置的精準(zhǔn)點(diǎn)針，方便科研工作者進(jìn)行局部或整體電學(xué)性能的測試

?  集成顯微鏡和光譜系統(tǒng)：可以集成顯微鏡、光譜系統(tǒng)等先進(jìn)表征手段、對薄膜材料的微觀結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察和分析、提供全面的材

?  高精度和可重復(fù)使用：采用高精度的金屬針頭、測試結(jié)果非常穩(wěn)定可靠、適用于多次重復(fù)測試

?  應(yīng)用廣泛：適用于半導(dǎo)體、微電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域，特別是在薄膜材料的電學(xué)性能測試中表現(xiàn)出色

◆ ?樣品臺：鍍金樣品臺(三同軸、同軸、接地)

◆ ?樣品臺尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

◆ ?顯微鏡：最小分辨率2微米/4微米

◆ ?探針臂：最多可安裝6個(gè)探針臂

◆ ?位移臺行程：X方向行程：50mm,移動(dòng)分辨率3Hm;Y、Z方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5Hm

◆ ?探針配置：DC探針、射頻探針、光纖探針可選

◆ ?真空系統(tǒng)：機(jī)械泵或分子泵

◆ ?真空度：5×10-3Pa(室溫)

◆ ?溫度范圍：室溫-200℃ ?室溫-600℃可選

◆ ?溫控精度：±0.5℃

◆ ?減震桌：固有頻率：1.2-2Hz,隔振方式：雙腔室空氣彈簧，隔振來源：阻尼孔水平維持方式，高精度閥門自動(dòng)維持水平

詳細(xì)內(nèi)容請聯(lián)系藍(lán)海科儀銷售人員